㈢高真空罗茨泵 罗茨泵在高真空范畴作业，称为机械增压泵，在压差小的当地运用，轴的动力耗费也低，间 隙返流也少，空隙中气体的活动，随压力下降由粘性流过渡到分子流状况，返流低，这时压力比 较高，容积功率也高。因为低压时，排气量很小，紧缩气体发生的热量也少，因而不用灌水和在 排气口处加冷却器，其排气温度可在１００℃以下。机械增压泵的出口压力在４×１０ｅ３Ｐａ以下，吸入 ２ －１ ３ 压力在１０—１０Ｐａ规模内。若出口压力在１０Ｐａ以下，进口压力在１０—１Ｐａ规模内运用，功率最 高

  ①在较宽的压力规模内有较大的抽速； ②设有旁通溢流阀，可在大气压力下发动，缩短了抽气时刻； ③转子之间、转子与泵腔壁之间有空隙，泵内运动件无冲突，不用光滑，泵腔内无油； ④转子形状对称，动平衡性能好，作业平稳，挑选高精度的齿轮传动，作业时噪声低； ⑤结构严密相连，占地面积小，一般选卧式结构，泵腔内气体笔直活动，利于被抽的尘埃或冷凝 物的扫除； ⑥挑选适合的转子型线和精密的研磨加工，可获得较高的容积功率； ⑦作业维护费用低。 现在国内外的罗茨泵，大都为卧式结构，泵的进气口在上，排气口鄙人，这种卧式结构重心 低，高速作业时稳定性高。罗茨泵的两个转子是经过一对高精度的齿轮来完成其相对同步旋转的 ，泵的传动多为直联式的，大泵则有皮带传动。电动机与传动齿轮，多设在转子轴的两边，装置 拆开便利。主动轴传递的扭矩较大，轴要有满足的强度和刚度，轴与转子要固结可靠。罗茨泵的 密封很要害，主动轴外伸部分，两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封，泵腔与各端盖设有静密 封。为了尽最大或许防止罗茨泵的误操作，一般多设有旁路溢流阀。由泵的答应压力差△Ｐ来规划旁路溢流 阀，可在大气压力下发动，使罗茨泵和前级泵一起接连作业，因而对容器的抽气时刻大为缩短（ 达３０％－５０％）。

  罗茨泵是按罗茨鼓风机的原理作业的。作业时，被抽气体 由进气口进入转子和泵体之间，这时一个转子和泵体把气体与 进气口离隔，被离隔的气体（图中暗影部分所示）在转子接连不 断的旋转进程中，被送到排气口。在右图中，Ｖ空间是处在密 0 闭状况的，因而，没有紧缩与胀大。可是，当转子的峰部转到 排气口边际时，因为Ｖ部分的压力比排气口处的压力低，为了 0 使相连体积内压力均匀，气领会从排气口处分散到Ｖ区域，其 0 分散方向与转子旋转方向相反。当转子再滚动时，把Ｖ处的气 0 体紧缩到排气口将其扫除。这时转子的另一面与进气口相连部 分则吸入气体，当转子不断地旋转时，重复上述抽气进程不断 地排出流进来的气体。这种作业进程相当于转子空间由某一最 小值增加到最大值，然后再由最大值减小到最小值。

  罗茨真空泵简称罗茨泵，它是运用两个８字形转子在泵壳中旋转而发生吸气和排气效果的。 其原理和罗茨鼓风机类似。罗茨泵在低压规模内作业，气体分子的自在程较大，气体漏过细小 缝隙的阻力很大，能够得到较高的紧缩比，可作为增压真空泵运用。

  按泵体结构分类： ㈠普通型：不能独自把气体直接排入大气，运用时需求和前级真空泵串联，被抽气体经过前级泵 排入大气。 ①一般型泵：最大答应压差在２０００Ｐａ－１００００Ｐａ规模 ②带旁通阀型泵：答应压差仅限于２０００Ｐａ－４０００Ｐａ规模 当压差超越每一标准泵的规定值时，旁通阀就会主动顶开，泵出口处的气体经旁通阀返流入 泵进口处，使泵安全运作。 ㈡直排大气型：能够直接把气体排入大气，此种泵的最大答应压差可达８８０００Ｐａ。 ①气冷式直排罗茨泵 有必要装备冷却器和消声器。罗茨泵紧缩进程中发生的热量被传到转子和泵体上，转子很难将 热量传到泵外，而泵体则能轻松将热量流失Fra Baidu bibliotek周围的大气中，这样转子和泵体之间就呈现了温 差，加重了转子的热胀大。当泵负荷增大时，转子胀大，使其之间的空隙减小，最终导致转子卡 死，因而诞生了气冷式罗茨泵，用冷却的气体或大气直接去冷却热的转子，然后减小了转子和泵 体的温差，提高了罗茨泵的抗热才能．

  ②水冷式直排大气型罗茨真空泵 按罗茨泵作业所接受的压力规模分类： ㈠低真空的直排大气干式罗茨泵和湿式罗茨泵 ３ ４ ４ ３ 小泵极限压力为２×１０Ｐａ，大泵可达１×１０Ｐａ，若两台串联，可获得极限压力２×１０Ｐａ－３×１０ Ｐａ。湿式罗茨泵能够吸入少数的水，但吸入量过大时，要在泵进口前设置别离器，将水别离后，再注 入适量的水。这种泵直接向大气中排放时，噪声较大，故需求加消声器。 ㈡中真空罗茨泵（机械增压泵） ３ －１ ３ ３ 中线Ｐａ规模，如出口压力在１０Ｐａ， ２ 进口压力在１０Ｐａ－１Ｐａ规模内运用，功率最高。

  罗茨泵在进口压力很低情况下作业时，因为转子转速很高（１０００ｒ／ｍｉｎ－３０００ｒ／ｍｉｎ），转子外表 的线速度接近于分子的热运动速度，这时碰撞在转子上的气体分子被转子携带到压力较高的排气 口， 再被预真空泵扫除。 罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵，在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、 三叶和四叶的。两个转子互相朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步滚动。转子互相无触摸，其 间一般有０．１５－－１ｍｍ的空隙，泵腔靠空隙来密封。 罗茨泵泵腔内无冲突，转子可高速作业，一般为１５００－３０００ｒ／ｍｉｎ，并且不用用油光滑，可实 现无油 清洁的抽气进程。泵的光滑部位仅限于轴承和齿轮，以及动密封处。泵没有往复运动，平 稳、转速高、尺度小，可获得大的抽速。