螺杆式真空泵脱胎于螺杆式紧缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为抱负的干式真空泵。

  1、清洁无油，多相混输，适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严厉空隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等杂乱气体。

  螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是经过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向作业，周期性改动齿间容积而发生的吸气和排气效果的抽气设备。 它的首要结构包含螺杆转子、轴承、泵体、密封等。

  因为是脱胎于螺杆式紧缩机，所以螺杆式真空泵的作业原理也与螺杆式紧缩机相似。咱们以近似的多头型线）吸气进程

  图中可见，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

  图1a示出吸气进程行将开端时的转子方位。在这一时间，这一对齿前端的型线彻底啮合，且行将与吸气口衔接。跟着转子开端滚动，因为齿的一端逐步脱离啮合而形成了齿间容积，这个齿间容积的扩展，在其内部形成了必定的真空，而此齿间容积又仅与吸气口连通，因而气体便在压差效果下流入其间。

  如图1b中暗影部分所示。在随后的转子旋转进程中，阳转子齿不断从阴转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积逐步扩展，并与吸气孔口坚持连通。

  吸气进程完毕时的转子方位如图1c所示，其最明显的特点是齿间容积到达最大值。跟着转子的旋转，齿间容积不会再添加。齿间容积在此方位与吸气孔口断开，吸气进程完毕。

  图中，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

  图2a示出螺杆式真空泵紧缩进程行将开端时的转子方位。此刻气体被转子齿和机壳包围在一个关闭的空间中，齿间容积因为转子齿的啮合就要开端减小。

  跟着转子的旋转，齿间容积因为转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积中的气体被占有体积也随之减小，导致压力升高，以此来完成气体的紧缩进程，如图2b所示，紧缩进程一向继续到齿间容积行将与排气孔口连通之前。如图2c所示。

  螺杆式真空泵的排气进程齿间容积与排气孔口连通后，即开端排气进程。跟着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐步经过排气孔口被排出。 如图3a所示。

  这个进程一向继续到齿结尾的型线彻底啮合。此刻，齿间容积内的气体经过排气孔口被彻底排出，关闭的齿间容积的体积变为零。